Zur Zeit älteste Erwähnung von Benzweiler:

„Die Synode des Kapitels zu Zell legte 1317 fest, daß das Kloster in  matris ecclesia ,  d.h. in der Mutterkirche zu Kumbd, einen Pfarrer zu halten habe  (LB 5) und zu Laubach einen Priester. Laubach scheint damals mit zum Kirchenspiel Kumbd gehört zu haben.
Im 14. Jh der Kirchensprengel die Ortschaften Kumbd, Georgenhausen, Steinbach, Budenbach auf der rechten Seite des Baches, die Mühle Sulzbach, Bergenhausen, Rayerschied und Benzweiler, diesseits des Baches. Von diesen Siedlungen gehörten Benzweiler, Rayerschied und Bergenhausen jenseits des Baches, also das Gebiet zwischen Simmerbach und Benzweiler Bach, ursprünglich zum Mörschbacher Pfarrsprengel. In der Urkunde von 1006 betr. des Mörschbacher Pfarrsprengel im MzUB I Nr. 242 (Mainzer Urkundenbuch) ist nur die Rede von dem Gebiet nicht aber von Ortsnamen, außer Mörschbach, Liebshausen und Altweidelbach.

Am 26. Januar 1420 verkaufte Bertram von Vilwil sein Eigentum zu Benzweiler dem Pfalzgrafen Stephan. Am 1. Oktober 1445 verkauften Liese von Güls und ihr Gemahl Ritter Rulmann von Arenthal ihr Eigentum zu Benzweiler ebenfalls an den Pfalzgrafen Stephan. Im selben Jahr versetzte Eberhard von Schönenberg dem Pfalzgrafen sein Dorf mit Allen Rechten. Um 1600 besaßen die Herren von Schöneberg einen Zins von einigen Gütern zu Benzweiler, den sie von den Junkern von Koppenstein gekauft hatten. Den Rauchzins erhob der Kaplan von Kirchberg zu Benzweiler, den Zehnten links des Baches in der Mörschbacher Gemarkung teilte sich Kurpfalz mit dem Pfarrer zu Mörschbach. Vom Zehnten auf der Rayerschieder Seite gehörten Kurpfalz 2/3 und denen Von Schönenberg 1/3. Die Junker von Schöneberg hatten ihren Zehntanteil von den Nonnen zu St. Rupertsberg bei Bingen gekauft.

Seit 1439 ist auch eine Kapelle zu Benzweiler bezeugt, die nach Kumbd gehörte. Die Kapelle bestand bis 1707. Die Glocke dieser Kapelle wurde 1694 von den Franzosen geraubt.

Ein Mord in Benzweiler im Jahre 1577 wurde im Kumbder Gericht verhandelt.
Zur Gemeinde gehörten zwei Mühlen, ein Backhaus und ein Stierstall.

Am 30.April 1846 wurde in Benzweiler die Gemeinde-Ordnung eingeführt und der erste Gemeinderat und Gemeindevorsteher gewählt. Benzweiler gehörte zur Bürgermeisterei Simmern bis 1972. Ab 1972 wurde Benzweiler der Verbands-gemeinde Rheinböllen angegliedert.